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              • 主動隔振平臺

                STACIS®III是一種靈活的高級主動隔振平臺系統。STACIS采用先進的慣性振動傳感器、先進的控制算法和壓電致動器,通過連續測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。

                更新時間:2021-06-11

                廠商性質:生產廠家

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              • 主動隔振系統Stage-Base 450

                TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。主動隔振系統Stage-Base450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。

                更新時間:2020-07-11

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              • 氣浮綜合性主動隔振系統

                LaserTable-Base™氣浮綜合性主動隔振系統是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3Hz范圍內的振動。

                更新時間:2020-07-11

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              • 地面式主動隔振光學平臺

                地面式主動隔振光學平臺 通過將我們的不銹鋼平臺與獨特的“提升罩”設計相結合,我們的隔振器可“支撐”平臺,使工具在地面上方抬起小距離。

                更新時間:2020-07-11

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              • SEM主動隔振平臺

                SEM主動隔振平臺SEM-Base®VI是下一代STACIS主動壓電消振產品。SEM-BaseVI被設計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。

                更新時間:2020-07-11

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              • 主動隔振系統

                STACISIIIc是STACISIII高級主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

                更新時間:2021-06-11

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